Nyligen har de inhemska materiella vetenskaps- och teknikföretagen framgångsrikt utvecklat en ny typ av kiselkarbid -keramiskt material med renhet så högt som 99 . 999%, och detta genombrott kommer att förbättra prestandan och tillförlitligheten för halvledarutrustning . med den halvledarprocessen som fortsätter att fortsätta med att göra det föreningar som är inriktade på att göra det är att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra det möjligt att göra ett halvt utrustning. Detta tekniska genombrott för uppgradering av inhemsk halvledarutrustning ger viktigt materiellt stöd.
Tekniska genombrottshöjdpunkter:
1. Ultrahög renhetskontroll: Metallföroreningsinnehåll styrs till under 0 . 1ppm genom innovativ ångfasavlagringsprocess och reningsteknik, uppfyller kraven i 7nm och under processen.
2. Utmärkt termisk prestanda: Stabil prestanda vid 1000 grader med värmeledningsförmåga på 270W/MK .
3. Utmärkt korrosionsbeständighet: resistent mot starka syror, starka baser och korrosiva miljöer .}}}}}}
Halvledarutrustning Applikationsfördelar:
1. etsningsutrustning: Används som hålrumsfodermaterial för att minska metallföroreningar och förbättra etsningens enhetlighet
2. Epitaxial tillväxt: Används som brickor och baser för att säkerställa kvaliteten på det epitaxialskiktet .
3. ion Implantation: ersätter traditionella kvartskomponenter och utökar utrustningens underhållsintervall .
En expert från keramikstider sa: "Halvledartillverkning går mot finare processnoder, och kiselkolikon med hög renhet kommer att bli ett viktigt material för halvledarutrustning .}} detta genombrott kommer effektivt att minska Kinas beroende av importerade material för halvledarutrustning ."
För närvarande har materialet godkänt verifieringstesterna från stora hushållstillverkare i inhemsk halvledarutrustning och förväntas uppnå massproduktion under det fjärde kvartalet av 2024. med den snabba utvecklingen av nya tekniker som 5G och Artificial Intelligence, marknadens efterfrågan för 5-BILT) kommer 5) att fortsätta att växa, och det förväntas med 206 den globala marknadsstorleken för 5)
Affärsdynamik:
ceramicstimes invested 500 million yuan to build a special production line, the completion of the project annual production capacity of up to 200,000 pieces, will effectively meet the needs of domestic semiconductor equipment manufacturers. At the same time, the enterprise is working with a number of research institutes to further optimise the material properties, to develop more semiconductor equipment special parts lösningar .
Detta teknologiska genombrott fyller inte bara tomt av kiselkarbidkeramik med hög renhet, mer oberoende kontroll av Kinas halvledarutrustning ger en viktig materialgaranti, kommer starkt att främja lokaliseringsprocessen för halvledarindustrikedjan .}
